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在設(shè)計高度使用時科磊(KLA)半導(dǎo)體設(shè)備氣動隔振器的安裝

來源：上海松夏減震器有限公司????發(fā)布時間：2023-05-23 14:48

理論上氣動隔振器應(yīng)保持在同一平面上(與地面平行),在不可能達(dá)到的情況下，請按照以下指導(dǎo)做:兩個固定裝配點(diǎn)之間的距離至少應(yīng)是高度值的兩倍。兩個裝配點(diǎn)之間的距離是1170mm.高度是1220mm.因此，這個氣動隔振器的安裝位置不符合我們的指導(dǎo)要求。

有兩個改進(jìn)方案:1.增加底座尺寸來滿足即增加的寬度至少應(yīng)該是1220x2=2440mm才能符合我們的要求。2.改變空氣彈簧的安裝位置以達(dá)到此目的。在設(shè)計高度使用，因為它是保證橫向剛性或穩(wěn)定性的關(guān)鍵點(diǎn)，橫向剛性隨高度降低而減小。注意:當(dāng)從設(shè)計高度向下移動30mm后，氣動隔振器在縱橫方面就不夠穩(wěn)定了?？评?KLA)半導(dǎo)體設(shè)備氣動隔振器簧安裝位置上下限位裝置一般地，在各個方向即壓縮、延伸及橫向方向都要安裝擋塊?？v向擋塊的定位根據(jù)正常運(yùn)轉(zhuǎn)，啟動，關(guān)閉過程的移動幅度來定。且縱向擋塊要有足夠強(qiáng)度，氣動隔振器的安裝位置以滿足當(dāng)空氣彈簧失效時支撐起整個振動設(shè)備，避免造成設(shè)備損壞或人身傷害。經(jīng)驗得知，縱向擋塊在距設(shè)計高度圖12mm處，橫向擋塊是圖12mm(水平位置)。

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